设备名称

磁控溅射台

设备图片

型号

GV2012-B1

制造商

北京德东科技有限公司

购置时间

2014年

简介

该喷金仪利用普通机械泵抽真空，模拟控制，具有Glow discharge辉光放电处理功能，从而在基材表面喷金，具有均匀性好、溅射速率高、基片升温低、靶材节省等特点。

用途

可在硅片、塑料、陶瓷、玻璃、石英、Ⅲ-Ⅴ族化合物及金属等材料表面镀制Au膜。