离子减薄仪

作者: 时间:2018-03-28 点击数:

设备名称

离子减薄仪

设备图片

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型号

EM RES102

制造商

徕卡显微系统有限公司

购置时间

2018年

主要技术指标

1.离子束能量范围:1~10kV;

2.喷射角度0~20°;

3.可对TEM样品进行薄区加工,尺寸 直径3mm,厚度<40μm;

4.可对SEM+EBSD样品进行离子刻蚀,样品长/宽<20mm,高度<10mm。

主要功能及应用范围

1.用于易氧化的金属样品或陶瓷样品的透射电镜制样。

2.用于块状/片状样品的EBSD制样,利用氩离子束刻蚀去掉表面机械、电解抛光等制样产生的影响。

设备负责人

高新丽

联系方式

180311254

设备地址

科技楼二层(预约电话:13453457581戴老师)

 

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