设备名称

可变气氛红外线加热炉系统

设备图片

型号

SINKU-RIKO

制造商

日本ulvac

购置时间

简介

由主要由红外线加热炉，高精度数字温度控制系统，冷却水循环系统，气体冷却系统，真空系统四部分构成。 红外线加热炉体内带有加热/冷却室。试样在石英加热室内可进行高速加热及冷却。

用途

材料的快速加热与冷却

用气氛热处理研究各种基础材料。

高温气体的骤冷热处理。

热循环试验，热冲击试验。

半导体材料的烧成，退火条件研究。

2英寸硅片的退火条件研究。

控制气氛的氧气量对超导材料的退火条件研究。