双球差校正透射电子显微镜（JEM-ARM300F2，JEOL）是目前先进的原子尺度结构表征设备之一。仪器配备聚光镜球差校正器与物镜球差校正器，结合高亮度冷场发射电子枪，在透射电子显微（TEM）与扫描透射电子显微（STEM）模式下可实现亚埃级空间分辨成像与高精度微区分析。系统最高加速电压为300 kV，TEM信息分辨率可达0.05 nm，STEM分辨率可达0.053 nm，并配备能量色散X射线谱（EDS）和电子能量损失谱（EELS）分析系统，可在原子尺度上实现材料结构与成分的协同表征。该设备广泛应用于金属材料、纳米材料、半导体材料及先进功能材料的晶体结构、界面结构、缺陷结构及元素分布研究。 |
